AZO旋轉(zhuǎn)靶/平面靶
產(chǎn)品介紹
AZO靶材是鋅鋁氧化物功能陶瓷材料，主要用于磁控濺射制備AZO透明導電薄膜。以等離子體為熱源將相應粉末加熱到熔融或半熔融狀態(tài)并高速沖擊背管表面形成致密涂層，從而制備出高純度、高致密度AZO靶材。
應用領(lǐng)域
薄膜太陽能電池
Low-E鍍膜玻璃
汽車鍍膜玻璃
產(chǎn)品特點
密度高，成膜質(zhì)量好。
使用功率高，約13kW/m。
濺射速率、使用效率比同類產(chǎn)品高。
產(chǎn)品中心
參數(shù)規(guī)格
| 組份（wt%） | ZnO:Al2O3=98:2 |
| 純度（%） | ≥99.95 |
| 密度（g/cm3） | ≥5.1 |
| 靶材尺寸 | 靶材外徑 Φ151-160mm 鋼管直徑 OD133/ID125mm 長度 ≤4m 可按圖紙要求加工 |
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